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芯片生產微環境(mini environment)設施
微環境(mini environment)被廣泛摻雜8以下芯片生產環境防護輔助。 公司于2004年從微環境專業廠商ASYST授權所有圖面與技術,開始生產芯片生產專用微環境。并于2006年嘗試將CFD(計算流體...
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洗滌式加濕系統
LK開發的洗滌式加濕系統包含扇形Air washer系統和高霧化洗滌式加濕(Air Washer)系統兩種形式。 透過特殊設計的噴嘴形式,在低操作壓力(約3kg/cm2),即擁有約200m以及極細的78m的水霧效...
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DCFU (Ducted Chemical Filter Unit) 系統
所謂的DCFU系統,意指將化學過濾器結合于一個具有風機的單元,并直接連接于風管末端,故名為風管式化學過濾單元。 此系統最大的特點,就是節約客戶的運轉電費及化學過濾器的更換...
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